Бизнес 14 октября 2026, 09:49 МСК

Китайская Jiangsu Haisi Semiconductor начала отгрузку литографа для 200-мм пластин

Jiangsu Haisi Semiconductor завершила приёмку полностью автоматической установки Mask Aligner для 8-дюймовых пластин и отправляет её заказчику.

Установка совмещения и экспонирования переносит рисунок с фотомаски на кремниевую пластину, покрытую фоторезистом. Оборудование рассчитано на пластины диаметром 200 мм и предназначено прежде всего для производства Micro LED на кремниевой основе.

Установка оснащена двумя системами автоматической загрузки SMIF и двумя независимыми транспортными комплексами, в каждом — по два роботизированных манипулятора. Точность совмещения по лицевой стороне — менее ±0,5 мкм. Трёхточечная система выравнивания на воздушной подвеске позволяет работать в том числе с тонкими и деформированными пластинами.

Компания специализируется на контактном литографическом оборудовании, её площадки находятся в Сучжоу и Чэнду. Ранее установки поставлялись университетским лабораториям и исследовательским организациям. Имя заказчика и цена в источнике не названы.

• Пластины диаметром 200 мм
• Точность совмещения лицевой стороны — менее ±0,5 мкм