Наука 20 октября 2026, 14:46 МСК

Китайская CIQTEK представила электронный микроскоп TEM-F200 для анализа чипов

Компания CIQTEK представила просвечивающий электронный микроскоп TEM-F200 с цифровым пределом разрешения 0,1 нм, который можно использовать для изучения структуры микросхем.

Прибор рассчитан на ускоряющее напряжение 200 кВ. Точечное разрешение составляет 0,25 нм, а цифровая обработка позволяет извлекать данные об образце с шагом 0,1 нм. Такие микроскопы применяют в полупроводниковой отрасли, материаловедении и биомедицинских исследованиях, в том числе для поиска причин производственных дефектов.

По заявлению CIQTEK, она сама разработала ключевые модули, управляющее и аналитическое ПО и систему интеграции; микроскоп готов к массовому производству и поставкам. Разработка укладывается в стремление Китая снизить зависимость от импортного научного оборудования. Ранее аналогичные модели представили Bioland Laboratory (TH-F120, производится CIQTEK) и Suzhou Bozhon (BZ-F200).

Лучшими по точечному разрешению считаются микроскопы Thermo Fisher Scientific с показателем 0,08–0,078 нм, также сильны JEOL и Hitachi.

• Ускоряющее напряжение — 200 кВ
• Точечное разрешение 0,25 нм, цифровой предел 0,1 нм
• У Thermo Fisher — 0,08–0,078 нм